我國首次建立納米級角度國家一級標準物質(zhì)

近日，市場監(jiān)管總局新批準二維鉻納米柵格標準物質(zhì)、二維硅納米柵格標準物質(zhì)、一維硅納米光柵標準物質(zhì)3項國家一級標準物質(zhì)，能夠同時滿足納米制造產(chǎn)業(yè)角度和長度校準需求，為新一代信息技術(shù)、新材料、生物制造、高端裝備等領(lǐng)域的納米制造提供精準“標尺”。

納米制造，測量先行。研制高精度的納米級標準物質(zhì)，是打造高準確度納米測量傳遞鏈，提升國產(chǎn)納米制造產(chǎn)品質(zhì)量可靠性的關(guān)鍵。標準物質(zhì)研制單位同濟大學相關(guān)專家介紹，二維鉻納米柵格標準物質(zhì)突破性地采用分步沉積原子光刻技術(shù)，制備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數(shù)（鉻原子躍遷頻率），角度絕對準確性在0.001°量級，相當于把一個蛋糕按扇形均分成三十六萬份。二維鉻納米柵格的結(jié)構(gòu)面積一般為300μm×300μm，在沒有劃傷或破壞的狀況下，每次使用2μm×2μm，不重復使用測量區(qū)域次數(shù)可達20000次以上。可應(yīng)用于晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設(shè)備校準，也可應(yīng)用于對超精密位移傳感器多種參數(shù)的光柵干涉法校準。

納米級角度標準物質(zhì)的研制成功，實現(xiàn)了納米測量領(lǐng)域的扁平化計量，避免傳統(tǒng)逐級量值傳遞方式造成的誤差累積放大，能夠通過在線校準直接將高精度計量數(shù)據(jù)直接傳遞到企業(yè)計量現(xiàn)場，為我國納米制造產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。

下一步，市場監(jiān)管總局將持續(xù)強化納米測量領(lǐng)域標準物質(zhì)研制應(yīng)用，進一步解決納米制造“測不了、測不全、測不準”問題，為筑牢新興產(chǎn)業(yè)和未來產(chǎn)業(yè)技術(shù)基礎(chǔ)提供支撐保障。